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科友半导体开展“完美八英寸碳化硅籽晶”项目

2024-04-08
2024年3月27日,科友半导体与俄罗斯N公司在哈尔滨签署战略合作协议,开展“八英寸碳化硅完美籽晶”的项目合作。

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科友半导体长期致力于碳化硅长晶装备研制和工艺技术研发,有丰富的实践经验,八英寸电阻炉已在高端制造领域得到高度认可并被广泛应用。俄罗斯N公司在晶体缺陷密度控制有着丰富的研究经验,在相关领域发表高水平文章及期刊百余篇。


通过与俄罗斯N公司的合作,科友半导体将研发获得“无微管,低位错”完美籽晶,应用品质优异的籽晶进行晶体生长,会进一步大幅降低八英寸碳化硅晶体内部的微管、位错等缺陷密度,从而提高晶体生长的质量和良率,并推动碳化硅长晶炉体及工艺技术的优化与升级。


双方将长期友好合作,发挥各方的技术优势,共同推进八英寸碳化硅晶体生长良率提升以及晶体缺陷降低。本次签约仪式的圆满完成,标志着科友半导体与俄罗斯N合作进入了崭新的阶段。


据悉,哈尔滨科友半导体产业装备与技术研究院有限公司成立于2018年5月,企业坐落于哈尔滨市新区,是一家专注于第三代半导体装备研发、衬底制作、器件设计、科研成果转化的国家级高新技术企业,研发覆盖半导体装备研制、长晶工艺、衬底加工等多个领域,形成自主知识产权,已累计授权专利80余项,实现先进技术自主可控。科友半导体在哈尔滨新区打造产、学、研一体化的第三代半导体产学研聚集区,实现碳化硅材料端从原材料提纯-装备制造-晶体生长-衬底加工-外延晶圆的材料端全产业链闭合,致力成为第三代半导体关键材料和高端装备主要供应商。


此前,科友半导体8英寸SiC中试线平均长晶良率已突破50%,晶体厚度15mm以上。本次与俄罗斯N公司合作,有望推动科友半导体在SiC技术升级进程中再一次实现突破。

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来源:科友半导体

材料领域,科友半导体在2022年底通过自主设计制造的电阻长晶炉产出直径超过8英寸的SiC单晶,晶体表面光滑无缺陷,这是科友半导体继2022年10月在6英寸SiC晶体厚度上实现40mm突破后,在SiC晶体生长尺寸和衬底尺寸上取得的新突破。

设备领域,科友半导体8英寸衬底产品使用的是自主研发的电阻式SiC长晶炉,该型设备长出的晶体具有应力低、品质高、一致性好等特点。经过长期实验对比,电阻炉更适合大尺寸晶体生长,其设备稳定性好、炉次重复性高、晶体成品率高、晶体缺陷少。

得益于电阻式SiC长晶炉,科友半导体开发的8英寸SiC材料装备及工艺被中国电子学会组织的专家委员会评为“国内领先、国际先进水平”,科友半导体也成为国内首家基于电阻式长晶炉制备获得8英寸SiC单晶的厂商。   


来源:半导体材料行业分会、集邦化合物半导体