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包含DUV光刻技术!荷兰拟对华实施半导体出口新限制

2023-03-09
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荷兰政府周三表示,计划对半导体技术出口实施新的限制以保护国家安全,加入美国遏制对华芯片出口的行列。


据路透社报道,荷兰贸易部长Liesje Schreinemacher在给议会的一封信中宣布了这一决定,并表示这些限制将在夏季之前实施。


她的信中没有提到荷兰的主要贸易伙伴中国,也没有提到荷兰半导体设备主要供应商ASML,但中国和ASML都将受到影响。信中指出,其中一项将受到影响的技术是“DUV”光刻技术,这是ASML销售给电脑芯片制造商的第二先进设备


Schreinemacher在信中指出,“荷兰认为,出于国家安全考虑,有必要以最快的速度对这项技术进行监管,内阁将出台一份国家控制清单。”


她写道,荷兰政府已经决定采取尽可能谨慎和精确的措施,避免不必要的价值链中断。重要的公司应该知道自己面临着什么,并有时间适应新规则。


ASML回应称,预计将不得不申请出口DUV机器中最先进部分的许可证,但这不会影响其2023年的财务指导。


在美国的压力下,荷兰将限制某些类型的DUV设备额外的出口管制。但可用于制造不太先进的芯片的旧DUV机器不在限制范围内。目前尚不清楚ASML必须为11种不同的DUV版本中的哪一种申请出口许可证。


ASML预计只有TWINSCAN NXT:2000i和后续系统会受到额外出口管制的影响主要关注成熟节点的客户可以继续使用不太先进的浸没式光刻工具。尚未确定。


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ASML官网显示,TWINSCAN NXT:2000i型号光刻机可用于38nm及以下制程的芯片制造。


由于38nm仅指一次曝光的分辨率,因此仍可以通过多次曝光实现更先进制程的制造,但步骤更为复杂、良率损失交大,成本较高,因此大多用于生产14nm以上芯片。


此外,据computable报道,除了ASML“DUV”光刻技术将受影响外,规模较小、几乎同名的ASM International(简称ASMI)也将受限。


ASMI生产用于采用原子层沉积(ALD)技术芯片的晶圆涂层设备。ASMI首席财务官Paul Verhagen表示,根据目前的估计,限制将影响的产品占中国销售额的七分之一到四分之一,占整个集团销售额的3%左右。


ASMI在美有庞大业务,此前有报道认为,ASMI宁肯牺牲中国的销售。根据ASMI去年11月份的预估,美国出口管制将对该公司造成欧洲主要芯片公司里最严重的冲击,影响到ASMI对中国的40%销售,占ASMI营收达16%。ASMI CEO Benjamin Loh此前表示,中国对ASMI的业务占比不小,但还不致于置我们于死地。


来源:集微网、芯榜等