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反制日本出口管制,韩国半导体电子化学品生产取得突破

2021-02-08

——韩国受日本政府出口管制,高端材料和设备“国产化”稳步推进

 

2020年,韩国从日本进口的氟化氢金额约为938万美元,与上一年的3630万美元相比,下降了74.2%。日本在氟化氢进口总量中所占的份额从2019年的32.2%下降至12.8%

 

另据韩国海关的进出口贸易统计,2020年韩国进口的日本氟化氢数量为4942吨,与2019年的19835吨相比,减少了75%

 

业界分析称,在日本实施出口管制后,韩国通过加快本土氟化氢产业竞争力的增强,减少了对日本的依赖。三星投资的化学品公司Soul brain通过增加高纯度氢氟酸的生产,为稳定供应链做出了贡献,SK材料也成功地量产了高纯度氟化氢气体产品。

 

韩国贸易协会发布的数据显示,韩国从日本进口的氟化氢量自20196月的3026吨到8月份下降至零,并从同年12月恢复从日本进口,至793吨,但此后表现趋缓,2020年月均进口仅为400吨左右。另外,从中国台湾的氟化氢进口量尽管因日本政策而一度激增,但在2020年也同比减少了54%

 

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日本媒体认为:主要原因是韩国本土的材料供应弥补了减少的氟化氢进口量。

 

其中,三星电子投资的Soul Brain宣布,已开始供应与日本企业相同水平的超高纯度氟化氢SK Materials也已开始批量生产用于半导体制造的氟化氢。同时,应韩国政府的要求,三星和SK海力士都在部分生产过程中导入了本国产品。

 

报道指出,韩国加速氟化氢自产自销的行动让两家日本公司受到重创。数据显示,氟化氢巨头Stella Chemifa和森田化学工业(大阪)对韩国的年出口额减少约60亿日元。在截至20203月的财政年度中,Stella Chemifa面向半导体和液晶显示器的氟化氢出货量减少了26%。森田化学则表示,“将通过增加对韩国以外地区的供货来弥补损失的份额。”

 

光刻胶和氟聚酰亚胺由于用途有限及日本政府早早签发了出口许可证,在对韩国的出口量上并没有降低。不过,韩国政府为打破整个供应链上对于日本的依赖,正努力推进半导体材料和制造设备的本地化生产。

 

据悉,韩国政府2021年的投资预算将比前一年增加30%,达到2.2万亿韩元(约合2050亿日元),以补贴企业的研发费用。同时,韩国也将通过确立先进开发区、制定税收优惠制度等行动,来吸引国内外企业。

 

韩国因日本政府的出口管制措施,高端材料和设备“国产化”的目标正稳步向前推进。

 

——日本制裁与韩国反制:起因与经过概要

 

20197月,日本政府宣布对出口韩国的半导体工业材料加强审查和管控,并将韩国排除在贸易“白色清单”以外,具体针对出口到韩国的高纯度氟化氢、氟化聚醯亚胺,以及光阻剂等3种先进化学品,对这些化学品实施严格的出口管制。

 

此后,所有的日本企业在出口这些化学原料时,必须接受日本政府的审核才得以放行。而在当时,韩国的半导体企业几乎100%依赖日本等国所生产的高纯度氟化氢,此举威胁到了三星、LG等韩国半导体企业的正常生产。

 

面临进口高端电子化学品出口管制后的韩企,随即开展了国产化的尝试。201911月。SK Materials成立了相关材料的研发中心,成功开发出基于三氟化氮(NF3)技术的气态氟化氢原型,这给韩国半导体产业带来了很大的信心,随后SK Materials在韩国庆尚北道的荣州工厂,设置了年产量15公吨规模的生产设备。从2019年的11月到20206月,SK Materials一直与客户进行测试,最终实现批量生产。

 

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2020110日,日本森田化学宣布重启对韩国的高纯度氟化氢出口,这是半年来首次重启对韩国出口氟化氢材料。巧合的是13日韩国公司Soul Brain宣布研发成功高纯度氟化氢,杂质减少到了1万亿分之一。

 

限制出口的三种材料——PI(聚酰亚胺)、光刻胶和氟化氢中,光刻胶、氟化氢都是半导体生产中的重要材料,而日本公司在这些产品中占据垄断性位置,韩国对日本的依赖一度很高。而日本厂商生产的氟化氢也主要出口给韩国,EUV光刻胶更是占据全球90%以上的份额。

 

这种依赖关系使得日本政府决定将这三种材料作为制裁韩国的杀手锏,意图逼迫韩国在日韩历史纠纷上让步。不过日本的制裁并没有起到预期中的作用,反而激发了韩国的斗志,加快了国产化半导体材料的研发,同时寻找中国、欧洲等公司的供应来源取代日本公司。

 

2019年下半年开始,三星、LGSK海力士等公司就加大了对韩国本土厂商的扶植,韩国Soul Brain公司也能生产氟化氢,纯度没有森田化学等日本公司那么高,日本最好的产品能做到99.9999999999%12N)纯度,韩国公司能做到99.99999999%10N),不过还没有量产。

 

在韩国政府及三星等公司的支持下,Soul Brain公司正在加快量产高纯度氟化氢,202013日,Soul Brain公司就宣布扩建工厂,生产高纯度氟化氢,纯度可满足半导体芯片生产。虽然没有提到具体的产能,但报道称能满足韩国80-90%的需要。

 

在另一个产品——光刻胶,特别是EUV光刻胶中,日本公司也垄断了全球90%以上的份额,但是全球目前需求EUV光刻胶的也只有三星及台积电,限制韩国也影响了日本公司的出口。为此,控制全球主要光刻胶市场的日本信越、JSR去年纷纷宣布扩大海外产能,在中国及欧洲等地扩大生产,以便绕过日本政府的出口限制。

 

202019日,美国杜邦公司宣布将在韩国建厂生产EUV光刻胶,预计投资325亿韩元,约合2亿元人民币,预计需要3-5年时间商业化生产,也体现了韩国与日本之外的供应商加强产业链合作的决心。

 

韩国科技工业部门计划,在2023年国产化的比率提升到70%,且不论超高纯度的先进化学品;而在这之前,韩国半导体产业仍然离不开日本原材料企业的供应。