科友半导体长期致力于碳化硅长晶装备研制和工艺技术研发,有丰富的实践经验,八英寸电阻炉已在高端制造领域得到高度认可并被广泛应用。俄罗斯N公司在晶体缺陷密度控制有着丰富的研究经验,在相关领域发表高水平文章及期刊百余篇。
通过与俄罗斯N公司的合作,科友半导体将研发获得“无微管,低位错”完美籽晶,应用品质优异的籽晶进行晶体生长,会进一步大幅降低八英寸碳化硅晶体内部的微管、位错等缺陷密度,从而提高晶体生长的质量和良率,并推动碳化硅长晶炉体及工艺技术的优化与升级。
双方将长期友好合作,发挥各方的技术优势,共同推进八英寸碳化硅晶体生长良率提升以及晶体缺陷降低。本次签约仪式的圆满完成,标志着科友半导体与俄罗斯N合作进入了崭新的阶段。
据悉,哈尔滨科友半导体产业装备与技术研究院有限公司成立于2018年5月,企业坐落于哈尔滨市新区,是一家专注于第三代半导体装备研发、衬底制作、器件设计、科研成果转化的国家级高新技术企业,研发覆盖半导体装备研制、长晶工艺、衬底加工等多个领域,形成自主知识产权,已累计授权专利80余项,实现先进技术自主可控。科友半导体在哈尔滨新区打造产、学、研一体化的第三代半导体产学研聚集区,实现碳化硅材料端从原材料提纯-装备制造-晶体生长-衬底加工-外延晶圆的材料端全产业链闭合,致力成为第三代半导体关键材料和高端装备主要供应商。
来源:半导体材料行业分会、集邦化合物半导体