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山东有研、徐州鑫晶项目相继投产,国产半导体大硅片将实现自主

2020-09-15

1020日,徐州日报报道,1016日,省重大产业项目——“徐州鑫晶半导体科技有限公司半导体大硅片项目”一期工程,经过26个月的紧张施工建设,实现通线量产。

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徐州鑫晶半导体科技有限公司董事长郑加镇博士在接受徐报融媒记者独家采访时说,鑫晶半导体公司克服了多重艰难险阻,才实现了投产,成果来之不易,主要得益于四个方面因素:一是国际化团队的组建,目前鑫晶半导体公司建立了涵盖技术、运营、管理和销售,业内最有经验的国际化团队;二是资金投入有保证,半导体硅片技术壁垒高、项目资金投入大、回报期较长,项目建设以来,需要不断依靠股东的投入以及金融机构的支持,201812月鑫晶半导体大硅片项目获江苏省战略性新兴产业专项资金支持,被列为徐州老工业基地转型升级的标杆项目;三是核心设备获得国际授权,自主设备研发布局整个工艺流程,避免被人卡脖子;四是政府部门大力支持,629日,14位来自韩国、日本和德国专业进行设备调试的外籍技术人员乘坐包机抵达徐州,为徐州鑫晶半导体公司引进的设备进行安装调试。

 

鑫晶半导体聚焦在28nm14nm以及更先进的10nm芯片制造所需的硅片工艺研发和制造,目前试生产12英寸硅棒完美晶体良率已经达到国内领先水平。目前鑫晶半导体一阶段10万片/月的产能全线贯通,徐州基地已经建成厂房能够容纳60万片/月的产能,按照公司规划,一阶段产品验证全部通过后,2021年上半年开始继续扩大产能,预计在2023年徐州基地60万片/月产能可全部投产。公司长期规划是在2025年前后通过自建或者收购等方式达到150万片/月产能,发展目标是成为全球前三的半导体硅片企业。

 

而就在1016日同一天,山东有研半导体材料有限公司举行集成电路用大尺寸硅材料规模化生产项目量产通线仪式。

 

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山东有研半导体材料有限公司是位于北京的有研科技集团有限公司的下属子公司,是有研集成电路用大尺寸硅材料规模化生产项目的建设者。项目总占地面积650亩,总投资80亿元,是迄今为止德州投资额最大的集成电路硅材料产业项目。目前已入选山东省新旧动能转换重大项目库,并列入2019年度重点项目。项目包括两个部分,分别为年产276万片8英寸集成电路用硅片和年产360万片12英寸集成电路用大硅片。

 

项目的落成和通线投产标志着有研半导体新的起航,不仅解决了公司多年来产业发展空间受限和水电要素成本偏高的问题,实现了年产6英寸、8英寸硅片456万片和12-18英寸硅单晶300吨能力,为后续12英寸硅片的实施奠定了良好基础,同时对于推动德州市高质量发展具有重大的现实意义和深远的历史意义。

 

据悉,二期年产360万片12英寸硅片项目计划明年开工建设,建成投产后,将成为我国北方最大的半导体材料生产基地,可有效辐射北京、天津、无锡、石家庄等我国重要电子信息产业基地。

 

半导体硅片是芯片制造的最关键基础材料,长期以来我国的12英寸大硅片基本依赖进口,而以美欧为主的国家在201912对《瓦森纳协议》进行了新一轮的修订,部分修订内容针对用于先进制程(如14nm及以下的制程节点)所用的半导体硅片的生产技术进行出口管辖,实际上就是制约中国的先进芯片制造。

 

目前,上海新昇、宜兴中环、杭州中欣晶圆、西安奕斯伟、徐州鑫晶、山东有研项目已经相继投产,打破了以往12英寸半导体硅片被国外厂商所垄断的僵局。虽然目前产品可能仍与信越、SUMCO等厂商存在某些层面上的差距,但随着国内供应链国产化的重视程度提升以及国内芯片制造厂如中芯国际、长江存储、长鑫存储、粤芯等产能的不断提高,国产半导体大硅片将迎来春天!