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一年内竟连续有三个晶圆再生项目落地安徽!

2020-06-08

62日,至纯科技董事长蒋渊女士在至纯科技项目现场参加合肥新站高新区举行招商项目集中签约暨重点项目集中开工动员会。至纯科技在新站区落地的晶圆再生项目拟成为国内第一条投产的十二英寸晶圆再生专业工艺服务,该项目以14纳米晶圆厂需求为设计基础,将服务于中国半导体高阶市场。项目建设期为2019-2020年,运营期为2021-2027年,项目预计在2023年达到计划产量。

 

晶圆再生项目投资总额为21,000.00万元,建设内容主要包括生产车间建设及设备购置。项目建成后,主要开展再生晶圆的加工服务,本项目达产后,将实现年产12英寸硅再生晶圆84万片的产出能力。

 

无独有“仨”,近期落地的晶圆再生项目还不止这一个。巧合的是,这些项目的地点都选择在了安徽省。

 

201910月,安徽富乐德长江半导体材料股份有限公司年产180枚晶圆再生项目奠基开工,20203月,综合楼顺利封顶,项目前期的规划与建设审批也已顺利完成。项目建成后将形成180万片300mm半导体晶圆精密再生的生产线。

 

20202月,协鑫集成可再生晶圆项目落户安徽合肥。该项目拟投资28.7亿元,建设周期为12个月,建成后将年产8英寸再生晶圆60万片、12英寸再生晶圆300万片。

 

此时,肯定有好奇的朋友会问:再生晶圆到底是什么?

 

图片.png

 

在实际生产之前,需要对整个生产线中的设备和其他生产条件进行评估和测试,提高生产的稳定性,所以会预先用Dummy wafer来进行测试。Dummy wafer,也就是常说的测试片,主要用于半导体设备和工艺调试。Dummy wafer在半导体生产制造中的运用其实非常广泛。其质量要求虽然比不上正片,但也不是说一般的单晶片就能胜任,同样需要达到一定的工艺要求。

 

Dummy wafer的价格也相对较高(虽然不及正片)。为了节约成本,Fab厂通常会将使用过的Dummy wafer回收加工再利用。有了这样的需求,再生晶圆的市场也应运而生。

 

再生晶圆和通常所说的半导体硅片的区别总得来说是,半导体硅片由电子级多晶硅料通过提拉长晶、切磨抛后生产而得,可用于正片也可用于测试片;再生晶圆是晶圆厂的Dummy wafer回收加工再利用(主要进行抛光),此后依旧用于Dummy wafer

 

目前,再生晶圆产能主要为日本和台湾地区企业控制,仅RS、中砂、辛耘、升阳半4家就控制了全球80%以上的再生晶圆产能份额。根据RS Technologies报告,预计2021年再生晶圆市场规模达200 万片/月以上。

 

可以说,再生晶圆的生产技术在国际上已经较为成熟,但在国内相关技术,尤其是大尺寸晶圆的再生技术则尚未成熟甚至处于空白状态。同时,国内快速发展的芯片制造产业也带来了巨大的Dummy wafer的需求,从而拉动了再生晶圆的市场需求。

 

再生晶圆主要是通过对dummy wafer进行再一次的抛光来进行回收利用,用到的设备也主要是抛光设备和清洗设备。以协鑫的再生晶圆项目为例,主要设备的情况大致如下:

设备名称

台数

8吋边缘抛光机

2

8吋边缘抛光后清洗机

1

12吋边缘抛光机

8

8吋单面抛光机

5

8吋抛光后清洗机

1

表面缺陷检测机

1

12吋双面抛光机

23

12吋抛光后清洗机

1

最终抛光机

10

12吋抛光后清洗机

12

8吋平坦度检测设备

3

12吋平坦度/纳米形貌检测设备

10

12吋边缘检测设备

10

8吋气陷检测仪

1

12吋气陷检测仪

3

8吋最终清洗机-batch

1

12吋最终清洗机

2

8吋表面缺陷检测设备

1

12吋表面缺陷检测设备

12

8吋硅片分选机

1

12吋硅片分选机

3

 

而为何三个晶圆再生项目都选择落地安徽?

 

图片.png


以目前国内主要的12英寸Fab厂分布作为参照,目前国内的12英寸fab厂分布相对而言比较分散,但不难发现,合肥接近处于交通枢纽一个位置。合肥本身也在近几年引入了两个芯片项目,分别是合肥晶合和长鑫存储,而传闻已经签约的高塔半导体芯片项目也选择落地合肥。毫无疑问,合肥本地就有着不小的再生晶圆需求。

 

另一方面,合肥本地也在近几年加大半导体产业的投入,引入了多个半导体项目,带动合肥集成电路产业的发展。