2019年7月起,日本对韩国进行含氟化氢在内的三种半导体材料进行出口限制,这给中国电子级氢氟酸的出口带来了新机遇。同时,中国氟化工产业的生产技术日趋成熟,装置规模也在不断扩大,随便中国半导体制造业的兴起,国内市场对于电子级氢氟酸的需求也在不断增加。
电子级氢氟酸主要应用于集成电路和超大规模集成电路芯片的清洗与腐蚀,也是信息技术产业集成电路及专用装备行业的关键基础化工材料之一。
来源:海关数据、亚化咨询
来源:海关数据、亚化咨询
亚化咨询整理了中国电子级氢氟酸进口数据,数据显示,自2019年日本宣布将对韩国进行包括电子级氢氟酸等三种半导体材料出口限制后,中国的电子级氢氟酸出口量迅速增加,并超过了进口量。国内企业如凯圣氟化学、滨化等电子级氢氟酸产品纷纷出口三星、SK海力士、LG等韩国半导体或显示企业。同时韩国半导体企业也加快推进中国相关原材料的测试及使用速度,国产电子级氢氟酸顺利打开了韩国市场大门。
然而,中国进口的电子级氢氟酸单价约为出口单价的两倍,这说明国产电子级氢氟酸产品在质量方面仍然与以日本等国为主的国外进口电子级氢氟酸产品存在较大的差距。实现半导体制造用电子级氢氟酸国产化依旧任重而道远。近年来,多家化工企业在努力切入电子级氢氟酸行业,原本已有产线的企业(如凯圣氟化学等)也在积极扩产电子级氢氟酸。
中国重点电子级氢氟酸项目一览:
1. 滨化6000吨/年电子级氢氟酸项目
滨化6000吨/年电子级氢氟酸项目2016年开始建设,2017年建成投产,装有电子级氢氟酸装置1套。2019年,项目产能利用率为74.95%,预计2020年产能利用率将进一步提升。
产品方案
产品/副产品 | 年产能(吨) | 备注 |
电子级氢氟酸 | 6000 | 产品,外售 |
高纯无水氢氟酸(PHF) | 1000 | 产品,自用 |
工业级氢氟酸 | 1900 | 副产品,外售 |
电子级氢氟酸产品指标
项目 | 指标 |
浓度Assay(HF) | 48.8-49.2% |
色度Color | 5 max. |
NO3- | 10ppb max. |
Cl- | 10 ppb max. |
PO43- | 10 ppb max. |
SO42-或SO32- | 20 ppb max. |
金属离子 | 100 ppt max. |
颗粒(≥0.5um) | 3 pcs/mL max. |
颗粒(≥0.3um) | 15 pcs/mL max. |
颗粒(≥0.2um) | 40 pcs/mL max. |
主要原辅料消耗情况
原辅料 | 规格 | 年用量(吨) | 来源 |
无水氟化氢 | ≥99.98% | 4991.38 | 外购 |
氧化剂(氟氮混合气) | 氟气:20%,氮气:80% | 14.04 | 外购 |
KOH碱液 | 20% | 122.7 | 外购 |
2. 多氟多电子级氢氟酸项目
2020年5月,多氟多方面介绍,国内对UPSSS级(半导体级)电氢氟酸的进口替代逐步加快了步伐,市场需求不断增大,多氟多目前具备5000吨/年的半导体级氢氟酸,下半年将新增5000吨/年产能的半导体级氢氟酸项目将达产,届时总产能将达到1万吨/年。
2018年,多氟多电子级氢氟酸销量超过1000吨,比2017年增长了600%以上
此外,多氟多旗下子公司宁夏盈氟金和科技有限公司正在建设2万吨/年的电子级氢氟酸项目,项目自产无水氟化氢。2017年,项目开工奠基。
宁夏盈氟金和科技有限公司是由多氟多与宁夏金和化工有限公司合资创建的公司,成立于2017年6月,总资产3.86亿元,其中多氟多占股67%,宁夏金和化工有限公司占股33%。
产品方案
产品/副产品 | 年产能(吨) | 备注 |
电子级氢氟酸 | 20000 | 产品,EL级,外售 |
无水氢氟酸 | 35000 | 产品,自用 |
3. 兴力电子电子级氢氟酸项目
兴发集团旗下湖北兴力电子材料有限公司在宜昌市投资建设3万吨/年电子级氢氟酸项目,项目计划总投资3.65亿元人民币,计划分两期建设2套氢氟酸装置,设计规模为1.5万吨×2,原料区共设置2个无水氟化氢储罐(总容积220m3)。项目预计2020年下半年一期投产。
产品方案
时间 | 产品/副产品 | 年产能(吨) | 备注 |
一期项目 | 电子级氢氟酸 | 15000 | 产品 |
工业级氢氟酸 | 811 | 副产品 | |
二期项目 | 电子级氢氟酸 | 15000 | 产品 |
工业级氢氟酸 | 811 | 副产品 | |
总规模 | 电子级氢氟酸 | 30000 | 产品 |
工业级氢氟酸 | 1622 | 副产品 |
电子级氢氟酸产品指标
项目 | 指标 |
浓度Assay(HF) | 49.0±0.5% |
色度Color | <10 APHA |
NO3- | ≤0.01 ppm |
Cl- | ≤0.01 ppm |
PO43- | ≤0.01 ppm. |
SO42-或SO32- | ≤0.05 ppm. |
金属离子 | ≤50 ppt |
主要原辅料消耗情况(总规模)
原辅料 | 年用量(吨) | 来源 |
无水氟化氢 | 15580 | 外购 |
高锰酸钾 | 32 | 外购 |
氢氧化钙 | 62.26 | 外购 |
4. 浙江森田新材料2万吨/年电子级氢氟酸项目
浙江森田新材料(三美股份持股50%的参股公司)的蚀刻级氢氟酸项目,一期规划产能为2万吨,已按原计划于2019年底开始试车。
此外,三美股份旗下全资子公司东萤化工募投的高纯电子级氢氟酸项目,规划产能为1万吨,目前尚未投入资金建设。
5. 凯圣氟化学1.2万吨/年电子级氢氟酸项目
中巨芯旗下凯圣氟化学ppt电子级氢氟酸产品已经进入国内8英寸及12英寸晶圆产线,2019年凯圣氟化学对已有的6000吨/年产能的电子级氢氟酸生产线进行技术改造,计划对电子级氢氟酸项目进行扩产,扩产后总产能达到1.2万吨/年,加速抢占电子级氢氟酸市场。2018年凯圣氟化学电子级氢氟酸产量为3463.55吨。
产品方案(改扩建后)
产品/副产品 | 年产能(吨) | 备注 |
电子级氢氟酸 | 12000 | 产品,HF含量49%~50% |
工业级无水氢氟酸(PHF) | 1000 | 副产品,HF含量≥99.96% |
工业级氢氟酸 | 2500 | 副产品,HF含量>40% |
电子级氢氟酸产品指标
项目 | 指标 |
浓度Assay(HF) | 48.8-49.2% |
色度Color | 5 max. |
NO3- | 10ppb max. |
Cl- | 10 ppb max. |
PO43- | 10 ppb max. |
SO42-或SO32- | 20 ppb max. |
金属离子 | 100 ppt max. |
颗粒(≥0.5um) | 10 pcs/mL max. |
颗粒(≥0.2um) | 100 pcs/mL max. |
主要原辅料消耗情况(估算)
原辅料 | 规格 | 年用量(吨) | 来源 |
无水氟化氢 | ≥99.98% | 9800 | 自供 |
氧化剂 | 1.6 | 外购 |
6. 索尔维蓝天(衢州)3万吨电子级氢氟酸项目
2018年11月,衢州市生态环境局受理了索尔维蓝天(衢州)化学品有限公司30000吨/年电子级氢氟酸扩产项目环境影响评价文件许可申请材料索尔维蓝天(衢州)化学品有限公司计划投资2515.97万元,在位于衢州市绿色产业聚集区高新片区华阳路39号厂区内现有电子级氢氟酸车间,对当时已建的年产5000吨电子级氢氟酸装置进行技改扩建,使产能提升至15000吨/年,再新增一套相同规格的生产线,并使其达到年产15000吨/年,使电子级氢氟酸产品总规模达到30000吨/年,项目自产无水氢氟酸。
2017年产能情况
产品名称 | 2017年实际生产量(t/a) |
无水氢氟酸 | 25117.82 |
普通有水氢氟酸 | 4358.67 |
电子级氢氟酸 | 5448.33 |
产品方案(改扩建后)
产品/副产品 | 年产能(吨) | 备注 |
电子级氢氟酸 | 30000 | 产品,HF含量49% |
工业级氢氟酸 | 3150吨 | 副产品,HF含量40-45% |
7. 衢州南高峰化工有限公司3万吨电子级氢氟酸项目
衢州南高峰化工有限公司成立于2010年12月,是一家专注于无机氟产品生产的中型民营企业,主要产品有无水氟化氢、氢氟酸、氟化氢铵等,广泛应用于高端电子化学品、制冷剂、表面处理剂等行业。公司旗下有全资子公司江西中氟化工有限公司和控股子公司衢州北斗星化学新材料有限公司。2017年11月,衢州市生态环境局受理了衢州南高峰化工股份有限公司年产3万吨电子级氢氟酸项目环境影响评价文件许可申请材料。
产品方案
时间 | 产品/副产品 | 产品指标 | 年产能(吨) | 备注 |
一期项目 | ppb级氢氟酸 | 各离子含量≤1ppb | 15000 | 产品 |
二期项目 | ppt级氢氟酸 | 各离子含量≤20ppt | 15000 | 产品 |
主要原辅料消耗情况(估算)
原辅料 | 规格 | 年用量(吨) | 来源 |
无水氟化氢 | ≥99.98% | 14845.25 | 自供 |
氧化剂(双氧水) | 含量>95% | 3 | 外购 |
氢氧化钙 | 66.15 | 外购 |