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晶盛机电中标4亿大单,半导体单晶炉国产化提速

2018-07-23

晶盛机电中标4亿半导体大单,单晶炉占大头

小尺寸单晶炉实现部分国产替代,大尺寸方面仍然差距甚大

受多个大硅片项目驱动,估算单晶炉市场需求将近60亿元人民币

首届中国半导体大硅片论坛将于2018年10月25-26日在苏州召开。大硅片项目发展与单晶炉需求将是重要议题之一。

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—  晶盛机电中标4亿半导体大单,单晶炉占大头

 

2018711日,晶盛机电收到中环领先半导体材料有限公司集成电路用8-12英寸半导体硅片项目四工段设备采购第一包、第二包项目的中标产品为半导体级全自动单晶炉、截断机、滚磨机设备,中标金额合计超过4亿元人民币,其中半导体单晶炉金额达3.6亿元人民币。亚化咨询认为,此次中标是半导体单晶炉国产化的一大步。

 

单晶炉是硅片生产中的关键设备,单晶炉设备的优良直接影响到单晶硅棒中硅的纯度及杂质含量。目前全球半导体级大尺寸单晶炉主要由KAYEXCarbulite Gero等国外厂商供应,国产参与度几乎为零。

 

国内半导体单晶炉设备起步于2008年推出的02专项“国产300mm硅材料成套加工设备示范线工程”,该项目面向90-65nm极大规模集成电路用硅单晶及抛光片制备技术需求,研究开发包括单晶炉在内的多种关键设备。该项目推出后由有研承担并完成验收,形成了我国硅片制造设备的技术基础。

 

目前国内可生产半导体单晶炉的厂商主要为晶盛机电和南京晶能。20169月,南京晶能研制的国内首台12英寸350KG半导体单晶硅炉交付上海新昇使用,20171月,其12英寸半导体单晶炉在上海新昇首炉即成功拉出完整半导体单晶棒。

 

晶盛机电承担的02专项“300mm硅单晶直拉生长设备的开发“8英寸区熔硅单晶炉国产设备研制两大项目,均已通过专家组验收,其6-8英寸半导体单晶炉已向国内多家企业供应,12英寸半导体单晶炉已实现小批量生产。

 

—  小尺寸单晶炉实现部分国产替代,大尺寸方面仍然差距甚大

 

目前国内大部分厂商所生产的为太阳能单晶炉,在半导体单晶炉方面,部分厂商在6英寸及以下已实现国产替代,但8英寸及12英寸单晶炉与国际水平仍存在差距。

 

2018年初上海新阳的投资者问答显示,上海新昇所使用的拉晶炉拉晶炉采购来自韩国、日本、德国,并未提及晶盛机电和南京晶能。显然,中国在12英寸半导体单晶炉与国外仍存在很大差距。

 

8英寸单晶炉到12英寸单晶炉,并非简单地将炉子做大,对于炉型、各种参数方面要重新设计。从中环领先的8-12英寸大硅片项目进度来看,此次晶盛机电供应的单晶炉多半以8英寸为主,包含少部分的12英寸。此次中标,是12英寸半导体单晶炉国产化的再一次努力与尝试!

 

—  受多个大硅片项目驱动,估算单晶炉市场需求将近60亿元人民币

 

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中国硅片生产商主要有金瑞泓、有研、麦斯克等,主要供应6英寸及以下的硅片和少量的8英寸硅片。对于12英寸硅片而言,国内仍处于相对空白阶段。近年来中国积极布局半导体大硅片领域,未来有望真正切入大硅片市场,占据一定的份额。

 

亚化咨询估算,以上所有大硅片项目所带来的单晶炉市场需求将近60亿元人民币。

 

目前国内单晶制备仍以直拉法为主,对于区熔单晶仍然处于摸索阶段。使用区熔法生产出来的单晶棒在纯度及杂质含量方面表现更加优异,但受到技术限制难以生产大尺寸的单晶硅棒。高纯度的区熔单晶是制作大功率器件如IGBT器件等的关键材料。亚化咨询认为,在直拉单晶炉逐步实现国产化的过程中,也要注重区熔单晶炉的研发,使国产单晶炉走向高端化。

 

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由亚化咨询联合国际龙头企业和国内协会联合举办的首届中国半导体大硅片论坛将于20181025-26日在苏州召开。大硅片项目发展与单晶炉需求将是重要议题之一。